精密干涉儀主機

精密干涉儀主機：分束器及補償板的平面度優(yōu)于1/10λ測微螺旋最小分度對應動(dòng)鏡行程0.00025mm，動(dòng)鏡行程0.625mm法布里-珀羅反射鏡90%反，1%透，直徑30mm；模塊化，便捷拆卸，可自行組裝，調節。

激光器

He-Ne激光器：長(cháng)度270mm，外徑46mm，氦氖激光器，632.8nm,TEM00，功率1.0mW,發(fā)散角<5mrad，單模輸出；帶有專(zhuān)用電源，尺寸：200*180*70mm；支架：可卡裝50mm以?xún)鹊募す馄骰蚱渌軤钗?，表面噴砂氧化處理，保證質(zhì)量的同時(shí)外觀(guān)的美度也大大提升。

調整架

磁吸式擴束器、延伸架、薄膜夾持架，兩用觀(guān)察像屏，透明薄片，擴束鏡架，轉動(dòng)延伸架保證即使兩個(gè)光學(xué)件靠近，也可使其上兩個(gè)光學(xué)件對稱(chēng)偏離光軸；三維精密調整架等；角度精度±4′，分辨率0.005mm，調節機構保證等雙軸等高，橫向偏差1′，縱向偏差1′

光學(xué)元件

BK7 精密退火材料，焦距±2%，直徑-0.2mm，中心偏差3′，光圈1-5；局部誤差為0.2-0.5，面粗糙度60/40（Scratch/Dig），氟化鎂增透膜鍍膜，有效孔徑90%；反射鏡，擴束鏡4.5等；

毛玻璃屏

直徑60mm，高強度鋁合金外框，表面噴砂氧化處理

氣室

氣室測空氣折射率，長(cháng)度：80 mm

光源

鎢/納雙燈(用于白光干涉)，鈉燈20W；溴鎢燈15W，6V/3V，含電箱控制驅動(dòng)器

精密電動(dòng)平移臺

步進(jìn)電機驅動(dòng)，自動(dòng)調整;

高精度的滾珠絲桿，分辨率高；

高精度交叉滾柱導軌副，結構緊湊，運行平穩；

合適科研及工業(yè)客戶(hù)，可以組成二維、三維調整臺

行程 ：15mm

臺面尺寸： 40x40mm

導軌形式： V-shaped guide rail+ cross   roller

導程：1mm

分辨率：(8細分   0.0006125mm

max速度 ：4mm/s

重復定位精度： <0.001mm

直線(xiàn)度： 0.002mm

平行度： 0.002mm

回程誤差為： <0.0005mm

上下擺動(dòng)： 25"

左右擺動(dòng)： 20"

max負載： 5kg

自重： 0.4kg

電器控制

步進(jìn)電機： 28BYH250B(1.8°)

線(xiàn)纜接口： DB9

極限傳感器： ITR20403 (EVERLIGHT)(2個(gè))

零位傳感器： ITR20403 (EVERLIGHT)(位于行程中間)

傳感器輸入電壓： DC12V~DC24V

傳感器輸出電壓： DC12V~DC24V

傳感器輸出形式： 集電極開(kāi)路 NPN

驅動(dòng)控制器

控制一維到三維電動(dòng)位移臺；

集穩壓電源、驅動(dòng)器、控制器于一體，采用32位微處理器；

漢字液晶顯示，漢字智能鍵盤(pán)；

菜單式操作，可作運行速度、加速度、歸零速度、回差、細分、步進(jìn)當量等多種設置。每個(gè)軸可獨立設置參數；

提供光電開(kāi)關(guān)信號，先進(jìn)的細分驅動(dòng)設計，可達64細分，電流可調，確保電移臺處于穩定運行狀態(tài)；

標準RS232接口，可與計算機相連，通過(guò)計算機實(shí)現電動(dòng)位移臺的操作，操作界面直觀(guān)，軟件功能豐富，開(kāi)放源程序，提供二次開(kāi)發(fā)平臺。

壓電陶瓷

輸出正弦波調制幅度：0-250V連續可調；輸出直流偏置電壓0-25V，連續可調；輸出頻率：20-50Hz

數顯計數裝置

供電電源：DC=9V

光電探測組件：6×6感光面 

計數范圍：0-9999

相應時(shí)間：≤0.2S 

光譜響應范圍：300-1000nm

底座配套干涉儀·使用，主體部分可單獨用于測量條紋明暗變化數值

采用迭代采樣法，具有防抖動(dòng)功能

工作條件

使用環(huán)境   (溫度在15℃～40℃，濕度20%-80%)

無(wú)強振動(dòng)源、無(wú)強電磁場(chǎng)干擾。

室內保持清潔、無(wú)腐蝕性氣體；且與墻面墻體盡量保持一定的距離

CCD攝像頭+測量軟件

測量精度：0.001MM

分辨率：2592X1944P25幀

輸出接口：USB3.0輸出

相機功能：圖像拼接、景深融合、鏡像

相機像素：500萬(wàn)像素

外接設備：臺式電腦或電腦筆記本

操作方式：鼠標

基本功能：拍照、錄像、測量、存儲

畫(huà)質(zhì)調整：曝光、白平衡、色彩、顏色可調

功能描述：

移動(dòng)：移動(dòng)畫(huà)面上的測量工具，整體移動(dòng)或者移動(dòng)某一個(gè)端點(diǎn)

點(diǎn)：標注圖像上的某一點(diǎn)

直線(xiàn)： 繪制一條直線(xiàn)，測量直線(xiàn)的長(cháng)度

折線(xiàn)： 繪制折線(xiàn)，鼠標右鍵結束繪制，測量折線(xiàn)的總長(cháng)度

矩形： 繪制一個(gè)長(cháng)方形，測量長(cháng)方形的面積

不規則多邊形： 繪制不規則多邊形，鼠標右鍵結束繪制，測量多邊形的面積

圓： 圓心和半徑確定圓，測量圓的半徑、面積

兩點(diǎn)定圓： 直徑與圓周的兩點(diǎn)確定一個(gè)圓，測量圓的半徑、面積

三點(diǎn)定圓： 圓周上的三個(gè)點(diǎn)確定一個(gè)圓，測量圓的半徑、面積

圓?。喝齻€(gè)點(diǎn)確定一段圓弧，測量圓弧的長(cháng)度

角度： 測量角度

點(diǎn)線(xiàn)距： 測量一個(gè)點(diǎn)到一條直線(xiàn)的垂直距離

刪除： 刪除一個(gè)測量工具，選擇刪除工具后，點(diǎn)擊畫(huà)面上測量工具的某一點(diǎn)端點(diǎn)，刪除測量工具  

全部刪除： 刪除畫(huà)面上的所有測量工具

導出：導出測量數據到cSV文件中，可用Excel打開(kāi)